학력
1979-1983: 서울대학교 기계설계학과 공학사(BSc)
1983-1985: 서울대학교 대학원 기계설계학과 공학석사(MSc)
1987-1990: 영국 Univ. of Manchester 기계공학과 공학박사(PhD)
2019: 영국 Univ. of Manchester 기계공학과 공학원사(DEng)
1983-1985: 서울대학교 대학원 기계설계학과 공학석사(MSc)
1987-1990: 영국 Univ. of Manchester 기계공학과 공학박사(PhD)
2019: 영국 Univ. of Manchester 기계공학과 공학원사(DEng)
경력
1993.9-현재: 서울대학교 기계공학부 교수/부교수/조교수
2020.12-현재: 서울대학교 정밀기계설계공동연구소 소장
2020.11-현재: 서울대학교 AI 밸리추진단 단장
2002-현재: 서울대학교 산학연 연구센터 센터장
2022.9-현재: 서울대-HD 인프라코어 석학교수
2010.3-현재: 한국공학한림원 정회원/준회원
1998.2-2017.1: 서울공대 1호 실험실 벤처 에스엔유프리시젼㈜ 창업 및 대표이사
2013.4-2017.4: 산업통상자원 R&D 전략기획단 단장
2016.7-2018.1: 청년재단 이사장
2017.3-2023.4: 한국산업기술보호협회 회장
1991.3-1993.8: 포항공과대학교 산업공학과 조교수
2020.12-현재: 서울대학교 정밀기계설계공동연구소 소장
2020.11-현재: 서울대학교 AI 밸리추진단 단장
2002-현재: 서울대학교 산학연 연구센터 센터장
2022.9-현재: 서울대-HD 인프라코어 석학교수
2010.3-현재: 한국공학한림원 정회원/준회원
1998.2-2017.1: 서울공대 1호 실험실 벤처 에스엔유프리시젼㈜ 창업 및 대표이사
2013.4-2017.4: 산업통상자원 R&D 전략기획단 단장
2016.7-2018.1: 청년재단 이사장
2017.3-2023.4: 한국산업기술보호협회 회장
1991.3-1993.8: 포항공과대학교 산업공학과 조교수
수상
- 2004: 대한민국 은탑산업훈장(대통령)
2015: 7,000만불수출의 탑(대통령)
2004/2013: IR52 장영실상(과학기술부)
2006: 닮고싶고 되고싶은 과학기술인(과학기술부)
2006: 젊은 공학인상 (한국공학한림원)
2010: 대한민국 100대 기술상(한국공학한림원)
2013: 제1회 백남상 (공학) (한양대학교)
2009/2011: KRX 히든챔피언 (한국거래소)
2014: Forbes Korea 글로벌 CEO 대상 (Forbes Korea)
2005: 서울공대 발전공로상(서울대학교 공과대학)
2006 서울대 총동창회 관악대상(서울대학교 총동창회)
2020 훌륭한 공대 교수상(서울대학교 공과대학)
2020 서울대학교 발전공로상(서울대학교)
연구분야
정밀측정 및 메카트로닉스 시스템
반도체 및 디스플레이 측정기술
Ellipsometry/Interferometry/Reflectometry
반도체 및 디스플레이 측정기술
Ellipsometry/Interferometry/Reflectometry
대표논문(3편)
- Angle-resolving spectral ellipsometry using structured light for direct measurement of ellipsometric parameters, Applied Optics, Vol.62, No.30/20, October 2023, 8082-8090
- Coaxial spectroscopic snapshot ellipsometry for real time thickness measurements with a small spot size, Optics Express, Vol.28, No.18/31, August 2020, 25879-25893
- Single sequence phase shifting spectrally resolved interferometry for an in-line thin film thickness measurement using spectral reflectance and phase, Applied Optics, Vol.60, No.30/20, October 2021, 9425-9431
기타업적
국내외 학술논문 200여편, 국내외 특허 150여건
연구과제수행 110여건, 석박사 배출인원 100여명
기계계측공학(역서), 축적의 시간(공저)
연구과제수행 110여건, 석박사 배출인원 100여명
기계계측공학(역서), 축적의 시간(공저)